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電子工業(yè)無塵車間參數(shù)
B50472-2013潔凈廠房設計規(guī)范
GB50472-2008-電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范
GB50515-2010導(防)靜電地面設計規(guī)范
1、服務領域:精密電子、半導體、LED、測試與封裝、光導纖維、鋰電池等。
2、重點注意事項:
1、人流
1-1、人員凈化:
1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
1-3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數(shù)30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;
1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。
2、物流
2-1、潔凈室內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據(jù)設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。
2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
3、靜壓差
3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;
3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;
3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。 4、根據(jù)生產(chǎn)要求需設計相應防靜電設施。
5、電子工業(yè)潔凈室空氣潔凈度等級表
電子工業(yè)凈化車間中央空調工程
電子工業(yè)自動化凈化車間中央空調工程